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微生物污染控制的手段与方法
微生物悬浮于空气中可形成各种各样的微生物气溶胶，微生物气溶胶是指分散相中含有微生物的气溶胶。根据所需控制的对象和不同的微生物种类，又可分为细菌气溶胶、真菌气溶胶、病毒气溶胶等，对生物污染控制较关注的微生物气溶胶粒子主要分布在0.1～20um范围内，见下表：生物污染控制就本质而言，与其它空气中悬浮微粒污染控制的手段与方法是一致的，采取的主要手段与方法有：1、采用空气过滤器等物理方法把空气中的悬浮微生物粒子阻隔下来，再将洁净的空气送入微生物污染控制区，以排除或稀释控制区内被悬浮微...
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2020-08-31
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凝聚核粒子计数器的介绍
凝聚核粒子计数器从计测原理上归类，仍属于离散粒子计数器，与一般离散粒子计数器的不同之处在于它附有一套使被检测空气中的超微粒子尺寸增大的装置，以便于用一般离散粒子计数器测定那些原来远小于其识别能力的超微粒子，例如0.02um的超微粒子。其工作原理如下图：被测空气中悬浮的超微粒子由采样口进入凝聚核粒子计数器，经过温度为35℃的饱和蒸汽发生容器及温度为10℃的凝聚管后，在温度骤变的条件下以超微粒子为凝聚核，形成了尺寸远大于超微粒子自身的液滴。液滴的尺寸可根据检测需要在一定范围内调整...
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2020-08-27
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洁净室静电测试
洁净室内往往存在着不容忽视的静电危害，是导致电子器件、电子仪器和设备损坏或性能下降的重要因素之一，对芯片制造影响尤为重要。此外，静电还是洁净室在生产过程中有易燃易爆气体或粉尘产生时，导致爆炸、火灾的元凶以及存在电击伤人的隐患。洁净室静电对尘埃的吸附效应，也易造成生产环境和产品各个壁面的尘埃聚集，以致影响洁净室的环境和产品被污染。1、相关的规范规定洁净室相关规范对静电防护问题，从设计到运行都有具体的规定。例如，洁净室设施应选用既不会产生也不能蓄积大量静电的建筑材料。为保护对静电...
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2020-08-27
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洁净室的噪声、微振与照度的测试
由于洁净室对排除室内污染物的要求高，因此比一般空调房间的通风换气量要大很多。1～5级高级别洁净室的通风换气次数甚至高达几百次之多，是普通舒适性空调房间换气次数的几十倍。正因为需要巨大的通风换气量，从节省驱动能耗及减少输送气流的沿程热损耗的角度出发，就要尽可能拉近机房与洁净室的距离。这也正是广泛采用装置在洁净室内的风机过滤器机组的原因之一。由于机械设备运转造成的机械振动与噪声、空调净化系统较高的静压值及系统中气流引起的噪声与微振等，都比一般空调系统更为突出，因此洁净室的噪声与微...
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2020-08-26
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洁净室粒子沉积测试
粒子沉积测试在国外某些高级别洁净室颇受重视。因为通过此项测试，可以让用户了解可能沉积到洁净室工作表面或产品上的空气中悬浮粒子的数量与粒子粒径，这对于分析产品的成品率有较高的参考价值。其检测的方式是用表面特性与生产中所关注的表面相类似的测量采样板，在洁净室内收集沉积粒子。再用光学显微镜、电子显微镜或表面扫描仪确定沉积粒子的粒径与数量；也可以用粒子沉降光度计获得粒子沉积率的数据。后以每单位表面面积在单位时间内的粒子质量或数目来表示沉积粒子的数据。1、测量采样板上沉积粒子的获取方法...
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2020-08-26
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洁净室污染渗漏测试
ISO14644明确规定此项测试，并指出特别是对于1～5级高级别洁净室应有效的进行此项测试。此项测试的目的是用以测定有无受污染的空气从周围具有相同或不同静压的非受控区侵入到洁净区，以评估洁净室受周边污染的风险，为采取相应措施提供依据。此项测试可采用离散粒子计数器或气溶胶光度计。1、使用离散粒子计数器测试污染渗漏（1）测量紧靠被评估洁净室外部的粒子浓度，该浓度应该比洁净室高出104倍，并且其浓度至少等于3.5*106个待测粒径的粒子。如果浓度小于该值，为确保测试的可靠性应使用气...
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2020-08-24
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